Научная сессия и заседание Учёного совета
| 10.10.2018 9:30 |
Повестка дня:
1. В.В. Базаров, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, Н.М. Лядов, А.Л. Степанов. Применение спектральной эллипсометрии для характеризации ионно-имплантированного кремния
Методом спектральной эллипсометрии исследовано накопление дефектов в приповерхностном слое монокристаллического кремния при облучении тяжелыми (на примере ионов серебра и кобальта) и лёгкими (на примере ионов кислорода и гелия) низкоэнергетичными ионами.
2. Р.Б. Зарипов, А.А. Суханов. Об участии в Third Joint Conference of the Asia-Pacific EPR/ESR Society and International EPR(ESR)
3. РазноеИнститут
Доп. раздел
