Научная сессия и заседание Учёного совета


 10.10.2018 9:30

Повестка дня:

1. В.В. Базаров, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, Н.М. Лядов, А.Л. Степанов. Применение спектральной эллипсометрии для характеризации ионно-имплантированного кремния

Методом спектральной эллипсометрии исследовано накопление дефектов в приповерхностном слое монокристаллического кремния при облучении тяжелыми (на примере ионов серебра и кобальта) и лёгкими (на примере ионов кислорода и гелия) низкоэнергетичными ионами.

2. Р.Б. Зарипов, А.А. Суханов. Об участии в Third Joint Conference of the Asia-Pacific EPR/ESR Society and International EPR(ESR)

3. Разное

Возврат к списку