Ионно-лучевой ускоритель ИЛУ-3

Предназначен для получения моноизотопных пучков ионов различных элементов (от ионов водорода до золота) с энергией до 80 кэВ и легирования этими ионами различных материалов. Ускоритель оснащен современной компьютерной системой управления, ряд его узлов модернизирован. Использование ускорителя дает уникальные возможности модификации свойств приповерхностных слоев, в том числе ионно-стимулированного осаждения тонких пленок (алмазоподобные пленки углерода, металлы, полупроводники, оксиды, нанокомпозитные слои с наночастицами), очистки поверхности, ионного распыления различных материалов в условиях высокого вакуума.